“遼寧五一勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)隆鲍@得者程虎：從“0”到“1”的堅(jiān)守與突破

涂膠顯影機(jī)，其工藝精度在很大程度上決定著芯片的良率。目前，我國集成電路前道芯片生產(chǎn)線上絕大多數(shù)的涂膠顯影機(jī)依賴進(jìn)口。

就在兩個(gè)月前，一個(gè)好消息從沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司傳來，由該公司研發(fā)中心主任、高級(jí)工程師程虎帶隊(duì)研制的涂膠顯影機(jī)，已完成裝調(diào)出廠，這款對(duì)標(biāo)國際高端的涂膠顯影機(jī)目前正進(jìn)行工藝驗(yàn)證。讓業(yè)內(nèi)驚嘆的是，攻克難關(guān)，程虎團(tuán)隊(duì)僅用了5個(gè)月的時(shí)間。

“研制的每一步都是對(duì)耐心的考驗(yàn)，既有時(shí)不我待的痛苦，也有推倒重來的折磨。不過做技術(shù)創(chuàng)新，把研究成果落地，創(chuàng)造實(shí)際價(jià)值的過程太有吸引力，你抑制不住那種沖動(dòng)。”程虎說。

作為國內(nèi)集成電路工藝設(shè)備企業(yè)中，唯一一家可以研發(fā)制造中高端涂膠顯影設(shè)備的企業(yè)，沈陽芯源通過多年的技術(shù)積累及承擔(dān)國家級(jí)重大科研項(xiàng)目，掌握了多種核心技術(shù)，并擁有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

以這次的涂膠顯影設(shè)備為例，為盡快完成任務(wù)，團(tuán)隊(duì)成員放棄周末和假期，放棄了春節(jié)與家人團(tuán)聚的機(jī)會(huì)，150多個(gè)日日夜夜，每天午餐和晚餐都在辦公桌上解決，吃飯的同時(shí)還能抓緊多看幾遍模型，多分析幾組試驗(yàn)數(shù)據(jù)。程虎告訴記者，那段時(shí)間團(tuán)隊(duì)很多人經(jīng)常深夜十一二點(diǎn)甚至凌晨下班，早上八點(diǎn)又返回公司繼續(xù)上班。

新產(chǎn)品問世，嚴(yán)謹(jǐn)?shù)脑囼?yàn)數(shù)據(jù)格外關(guān)鍵。為將精細(xì)的活兒做到極致，程虎團(tuán)隊(duì)在工作銜接中精準(zhǔn)高效，如同接力賽道上的選手，當(dāng)前一個(gè)子任務(wù)接近完成的時(shí)候，下一棒的設(shè)計(jì)師已經(jīng)做好準(zhǔn)備起跑。在所有人的努力之下，研發(fā)團(tuán)隊(duì)以一種前所未有的速度完成了設(shè)計(jì)制造。

“信念比專業(yè)重要，態(tài)度比能力重要。從0到1，我們邁出最艱難的一步，從1到100一定會(huì)更快。”程虎說。

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