遼寧省一科技企業(yè)榮獲“IC創(chuàng)新獎”

日前，中國集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟組織召開“2021集成電路產業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展交流會”，拓荊科技股份有限公司“量產型SACVD設備研發(fā)與應用”項目榮獲第四屆“IC創(chuàng)新獎”技術創(chuàng)新獎。此次獲得技術創(chuàng)新獎的共有6家企業(yè)，拓荊科技是遼寧唯一獲獎企業(yè)。

在國家科技重大專項和省科技重大專項的支持下，拓荊科技SACVD研發(fā)團隊自主創(chuàng)新研發(fā)，成功研制了國內首臺12英寸/8英寸量產型SACVD設備并實現(xiàn)應用，順利通過生產線成套工藝的考核驗證。SACVD是芯片制造過程中所需的關鍵設備之一。拓荊科技SACVD設備的研制，不僅體現(xiàn)了國產裝備的技術創(chuàng)新，也體現(xiàn)了國產裝備的創(chuàng)新速度，代表了國產裝備向高端的躍升。

據(jù)悉，“IC創(chuàng)新獎”由中國集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟(大聯(lián)盟)于2018年創(chuàng)立，旨在重點鼓勵集成電路技術創(chuàng)新、成果產業(yè)化、產業(yè)鏈上下游合作，以體現(xiàn)大聯(lián)盟倡導全產業(yè)鏈合作的理念。本屆共征集126家單位159個項目。

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